品牌:kzone
供应:1普通
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适用于:2-6寸晶圆清洗
产品规格
控制模式:半自动控制(工件搬运为手动操作,工艺参数控制过程为自动)
整机尺寸:约2000mm(L)×1200mm(W)×1800mm(H)
操作台面高度:850±20mm
工件:2-6英寸晶圆
产能:25片/槽,50片/槽可按客户产能需求设计
电源:380V 三相五线制,50HZ,5KW
纯水:CL-PVC 进口DN25 管径,0.2~0.3 MPa 压力,用量MAX:1m3/h
抽风口:φ200*1 抽风量MAX:1000m3/h ,风量口装有蝶阀,可手动调节
CDA: 0.4~0.6 MPa 压力,接管口径 ∮8mm,用量MAX:1m3/h
N2: 0.4~0.6 MPa 压力,接管口径 ∮8mm,用量MAX:1m3/h
设备特点:
1.led清洗设备骨架采用国产优质Q235A 骨架外包3mm 厚PP-W 板保护;外壳采用10mm 厚德国劳士领PP-W 板焊接而成;
2. led清洗设备采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制;
3. led清洗设备的槽体设置温度、液位监控装置;
4. led清洗设备的药液槽配透明槽盖,有效防止药液挥发,污染;
5.led清洗设备清洗区域配有高效过滤器,无二次污染机会;
6.led清洗设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护,防腐防水;
7.led清洗设备底部安装3mm 厚PP 防漏托盘,有效防止设备漏液损害厂务地板;
8.用户操作人员上料后,全过程自动化控制,减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点;
9.led清洗设备安全性能高,设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计,确保人身和厂务安全;