三坐标精度
根据现在的使用要求和加工水平，通常认为，三坐标角锥棱镜的光束平行性以角秒为 单位，特高的在1"以下，高精度的是小于2"，中等精度应在6"左右,较低的精度大 于10"以上。至于角锥棱镜出射光束波差值(PV值），高精度的是优于A/6，中等精 度应在A/4?A/2,低精度一般指1A以上(检测波长A为632. 8nm)0

三坐标角锥棱镜的其他技术要求，例如，表面缺陷及其他尺寸等也都有一定的， 甚至严格的要求。尤其是角锥棱镜在列阵使用时，若尺寸不严,有可能影响拼缝的 质量和整体的尺寸，导致影响使用效果。关于三坐标角锥棱镜检测的进一步说明。

角锥棱镜的加工精度与尺寸有直接关系，一般情况下，中等尺寸（〗?2in)的角 雜棱镜较易于加工,较小的、较大的角锥棱镜达到高精度指标的难度大大增加，故 价格亦增加。

小光学元件的检测

小光学元件指尺寸在5mm以下的小玻璃球珠、小透镜、小平面、小平板及小 棱镜或小角锥棱镜等。由于技术要求的侧重点可能有所不同，使得检验的方法和 手段也有所差异。

对于这些小光学元件，表面缺陷的检验是共同的，即用放大镜或在显微镜下观 察表面的缺陷和棱边的缺陷，这是必需的，也是最费时和费人工的，也是最容易引 起争议的。

小光学元件的尺寸检测基本上是用数 字式千分表和千分尺测量，小玻璃球珠的不 球度的抽检也是这样进行的。

平面表面和球面表面面形的检验，除了 用小样板以外，更多的是在小型立式菲佐干 涉仪上检测，如日本富士能（FUJINON)的 V10及R10JR10小口径激光干涉仪，奥林 巴斯(OLYMPUS)的小型LD干涉仪（上置 式/下置式）及KIF小型激光干涉仪等都可 用在生产线上进行产品检测，并已有广泛的 应用。只要对某一规格的产品备有专用的 夹具，检验的速度还是相当满意的。

批量销售的二次元小光学元件东莞三丰技术有限公司除了提 供一系列中、大型数字波面干涉仪之外，这 精心研制了一种小型便携式“SmA二次元”，旨在用于小球面加工现场生产线核测。整机采用紧凑设计，在工作时仅需要极小的空
。Smarc二次元设计性能卓越，易于调整标准三维样品台，使用电子开关转换对点和测J 匱条纹窗口，操作简单、有效。Smaix可选购各种配件，组成上视、下视及横置系 充，满足不同的测试需求。该仪器已批量供应国内市场。

其主要规格如下。

干涉仪类型：菲佐干涉 口径：25mm

光源：半导体激光(A = 635nm)

光学质量：A/20(平面)，A/10(球面）

尺寸：90(W)mmX 130(D)mmX200(H)mm 质量:约3. 5kg 电源：AC220V 50Hz

标准配件：3轴样品台(球面测试用）、高分辨率黑白显示器(9in)

供选配件：2轴样品台(倾斜调整，平面测试用）、小型液晶显示器 标准镜头：标准平面镜、标准球面镜 头（F/0. 7、F/1. 0、F/1. 5、F/2.0、F/3. 0、

F/5.0>。